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细晶氧化铝陶瓷基板的流延成型和显微结构控制研究

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成果类型:
期刊论文
作者:
邓佳威;熊新锐;徐协文;刘鹏;杨现锋;...
作者机构:
长沙理工大学材料科学与工程学院,长沙 410004
清华大学材料学院新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京 100083
[谢志鹏] 清华大学材料学院新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京
[杨现锋; 邓佳威; 徐协文; 熊新锐; 刘鹏] 长沙理工大学材料科学与工程学院,长沙
语种:
中文
关键词:
氧化铝;陶瓷基板;流延成型;晶粒尺寸;烧结制度
关键词(英文):
Al2O3;ceramic substrate;tape casting;grain size;sintering schedule
期刊:
硅酸盐通报
ISSN:
1001-1625
年:
2023
卷:
42
期:
9
页码:
3306-3314
基金类别:
52172063:国家自然科学基金 20232BBE50029:江西省重点研发计划
机构署名:
本校为第一机构
院系归属:
材料科学与工程学院
摘要:
采用砂磨工艺获得了亚微米氧化铝复合粉体,用于制备微晶氧化铝陶瓷基板,研究了浆料组成对浆料流变学性质、生坯密度、生坯应力-应变行为的影响,以及烧结制度对平均晶粒尺寸和基板抗弯强度的影响。结果表明,固相含量、R值(增塑剂和黏结剂的质量比)和分散剂用量等关键因素决定了流延浆料的流变学性质。R值增大导致生坯强度和密度降低,提高固相含量有利于增加最大可流延厚度,优化工艺条件下可制备0.16~1.20 mm的坯片。当烧结温度为1 550 ℃、升温速率为2.5 ℃/min、保温时间为60 min时,制备的陶瓷基板平均晶粒尺寸为1.1 μm左右,晶粒尺寸分布均匀,抗弯强度达到(440±25) MPa。 The submic...
摘要(英文):
The submicron Al2O3 composite powder was obtained by sand milling process,which was used to prepare fine grained Al2O3 ceramic substrates.The effect of slurry composition on rheological properties of slurry,bulk density and st...MORE The submicron Al2O3 composite powder was obtained by sand milling process,which was used to prepare fine grained Al2O3 ceramic substrates.The effect of slurry composition on rheological properties of slurry,bulk density and stress-strain behavior of green tape was investigated,and the influence of sintering schedul...

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