《微电子工艺学》课程考核改革探究

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成果类型：

期刊论文

作者：

吴丽娟;雷冰;唐俊龙;谢海情

作者机构：

长沙理工大学物理与电子科学学院

[雷冰; 谢海情; 唐俊龙; 吴丽娟] 长沙理工大学

语种：

中文

期刊：

中国电力教育

ISSN：

1007-0079

年：

2017

期：

页码：

69-71

DOI：

10.19429/j.cnki.cn11-3776/g4.2017.03.018

机构署名：

本校为第一机构

院系归属：

物理与电子科学学院

摘要：

《微电子工艺学》是面向电子科学与技术专业本科生所开设的一门专业选修课,是电子专业培养方案中的重要课程之一。通过本课程的学习,了解和掌握半导体材料制备技术、微电子器件与集成电路制造工艺原理与技术,为微电子器件和集成电路的设计和制造奠定基础。掌握制造集成电路所涉及的材料、外延、氧化、掺杂、微细图形加工等的原理与技术,熟悉双极型和MOS集成电路的制造工艺流程,了解集成电路的新工艺和新技术。而

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